電界放出型走査電子顕微鏡

メーカー
株式会社日立ハイテク
機種
SU8000
用途
表面分析
電界放出型走査電子顕微鏡

基本仕様

二次電子分解能1.0nm(15kV, WD=4mm)
電子銃冷陰極電界放出型
レンズ系セミインレンズ
測定種類Max displ:5um、Max force:10mN
加速電圧0.5~30kV
照射電圧0.1~2.0kV(リタ―ディングモード)
倍率60x~2,000,000x
検出器二次電子検出器Top/Upper/Lower, 反射電子検出器Top/Upper, 明視野STEM検出器
試料ステージ移動範囲X.Y軸:50mm, Z軸:1.5-30mm, T軸:-5~70°, R軸:360°
試料サイズ最大100mmφ
オプション元素分析(EDS)HORIBA X-MAX50mm2
データ収集測長機能、定性分析、面分析、ライン分析

概要?用途(支援例等)

主に高分解能を必要とするSEM観察に用いる装置です。SE像、BSE像の他、STEM ホルダ使用でSTEM像観察が可能であ理、低加速電圧による観察、リターディング機能搭載しています。
金属、セラミックス、高分子、半導体デバイス、生物系等の微細構造観察に使用されます。

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