複合ビーム加工観察装置

メーカー
日本電子株式会社
機種
JIB-4610F
用途
走査型電子顕微鏡
複合ビーム加工観察装置

基本仕様

電子銃(SEM)ショットキー電界放出電子銃
分解能(SEM)1.2nm@30kV, 3.0nm@1kV
加速電圧(SEM)0.1-30kV
イオン銃(FIB)Ga液体金属イオン源
分解能(FIB)4nm@30kV
加速電圧(FIB)1-30kV
ビーム電流(FIB)1pA-90nA@30kV
検出器(FIB)下方検出器、R-BEI

概要?用途(支援例等)

FIB-SEMは、FE-SEMとFIBを組み合わせた加工?観察装置です。FE-SEMの能力としては200,000倍程度までの試料観察が可能であり、FIBは90nAの大電流で加工が可能であるため、切削速度はGaイオン源としては加工が早い装置になります。
主な用途としては、試料の断面観察?TEM試料の作製?3D観察が挙げられます。FIBにより、特定箇所の切削が可能であるため、観察を行いたい部位の断面加工が可能となります。また、EDSが付属していることから、加工箇所の観察だけでなく、組成分析も可能です。
FIBとSEMを組み合わせることにより、加工?観察を指定範囲内で繰り返し行うことで3次元像の構築も可能であり、試料構造の解析を行うこともできます。

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