飛行時間型二次イオン質量分析装置

一次イオンビーム	Biイオン源
スパッタイオンビーム	O2、Cs
質量分解能	M/⊿M 11000
空間分解能	150nm以下
検出深さ分解能	1nm程度
検出器	飛行時間（TOF）型
検出下限	ppm～
試料サイズ	-100mmφ（Top Mount）、-15mmφ（Back Mount）
データ収集	質量スペクトル、二次イオンイメージ、深さ方向分析
取得情報	元素，有機物の化学構造
分析対象	有機物，金属、絶縁物の表面

表面、薄層、界面における元素および分子に関する詳細な情報を得ることができ、試料の3次元分析も可能です。
半導体、高分子材料、塗料、被膜、ガラス、製紙、金属、セラミック、生体材料、薬品など幅広い試料の測定ができます。
分析事例は表面の汚染物の推定、生物系試料の成分マップ、深さ方向分析による成分の拡散プロファイルなどがあり、質量イメージはサブミク　ロンから広域まで重ね合わせが可能です。深さ方向分析のプロファイルから3Dデータイメージを構築?解析により形状や位置を視覚化できます。

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