オージェ電子顕微鏡

メーカー
日本電子株式会社
機種
JAMP-9510F
用途
分光?表面分析
オージェ電子顕微鏡

基本仕様

電子照射系 二次電子分解能3nm(25kV、10pA)
オージェ分析時の最小プローブ径8nm(25kV、1nA)
加速電圧(電子銃)0.5~30kV
プローブ電流(電子銃)10-11~2×10-7A
倍率(電子銃)25~500,000倍
エネルギー分解能(ΔE/E) 0.05%~0.6%
感度840,000cps(7チャンネル検出器)、Cu-LMM、10kV、10nA
検出器チャンネルトロンによる多重検出
加速電流(イオン銃)0.01~4kV
イオン電流量(イオン銃)3kV時:2μA以上(吸収電流値)、10V時:0.03μA以上
中和機能(イオン銃)組込み
試料ステージ移動範囲X.Y軸:±10mm、Z軸:±6mmT軸:0~90°、R軸:360°(エンドレス)
試料サイズ最大 20mmφ×5mmH
試料室到達圧力5×10-8Pa以下

概要?用途(支援例等)

ナノからマイクロ領域の化学結合状態分析をハイスループットで実現する静電半球型アナライザー、EPMAにも採用されている安定した大電流を供給するフィールドエミッション電子銃を備えたオージェ電子分光装置です。
高精度ユーセントリック試料ステージとフローティング型イオン銃を備えることにより、金属試料から絶縁物試料まで、組成情報から化学情報まで、サンプルを選ばない汎用性を持ちます。

【アプリケーション】
データ収集:スペクトル、デプスプロファイル、ラインプロファイル、オージェ像、二次電子像、広域マップ分析(オプション)
データ処理:定性?定量分析、微分?平滑化、画像処理、テキスト入力、ピーク分離ソフト

オージェ電子顕微鏡
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